제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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맥스. 온도: | 1200C | 작동 온도: | 많아야 1100C |
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가열 속도: | 0-20'C | 온도 정확도 균일성: | ±1C |
튜브 직경: | 거래처 규모 | 가열 소자: | SiC 또는 저항선 |
온도 제어: | 프로그램 가능한 30 단계와 PID 자동 조절 | ||
하이 라이트: | CVD 진공 튜브 퍼네스,Cvd 튜브 로 고온,자동차는 Cvd 튜브 로를 제어합니다 |
CE 승인 Cvd 다이아몬드 기계 CVD 진공 튜브 퍼네스, 가스 진공 CVD 튜브 기계 Cvd 튜브 로
우리의 화학 기상 증착 장비용로는 50 밀리미터 지름 석영관, 듀얼 핫 구역과 분열 가능 튜브 로입니다, 확산 진공 펌 시스템과 네 채널 질량 유량이 기체 유동화 시스템을 잽니다. 그것은 1-4개 종류의 CVD 또는 확산을 위한 가스를 섞을 수 있습니다.
생산 디스플레이 :
기술 명세서 :
모델 | XDEM-1200CVD | ||
I 부분 : 튜브 로 | |||
튜브 로
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디스플레이 | 이끌립니다 | |
챔버 | 스플리트형과 상부는 열릴 수 있습니다 | ||
맥스. 온도 | 짧은 시간 동안 1200C | ||
연속적인 워킹 임시. | ≤1100C | ||
가열 속도 | 제안 : 0~10C/min은 (한계에 이릅니다. 20C / 분) | ||
온도 존 | 220+220mm 듀얼 존 | ||
가열 소자 | Mo와 저항선 | ||
열전대 | 크 형 | ||
온도 제어 정밀도 | ±1C | ||
튜브 관경 | 50 X 1000 밀리미터 (OD X 최소 L) | ||
온도 제어 | SCR 전원 제어 를 경유하는 PID 자동 제어 | ||
발열 커브 | 프로그램 가능한 30 단계 | ||
진공 플랜지 |
밸브와 스테인레스 강 진공 플랜지
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힘 | 220V, 50 Hz, 최대에 있는 단일 상. 3KW | ||
부분 II : 진공 펌프 | |||
로터리 베인 진공 Pump+Vacuum 휠과 펌프 accessories+Cart
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궁극적 진공 10-3 토르. 그리고 약 10-1 토르가 튜브 안에서 진공입니다. 흐름 속도 : 2L/S
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부분 III : 질량 유동 계량기 | |||
질량 유동 계량기 |
네 정확성 질량 유동 계량기 : MFC 1 : 가스는 0~100 스크텀으로부터의 범위를 흘립니다 MFC 2&3 : 0~200 스크텀으로부터의 범위를 제어하세요 MFC 4 : 가스는 0~500sccm으로부터의 범위를 흘립니다 (또는 당신의 요건에 따르면) 탱크를 섞는 한 가스는 밸브와 하단 케이스에 설치됩니다 4개의 스테인레스강 니들 밸브는 손으로 혼합되는 4 유형 가스를 제어하기 위해 하단 케이스에서 왼쪽에 설치됩니다
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부분 IV 인피콘 디지털 진공 게이지 | |||
인피콘 |
1125가지 토르 측정 범위에 대한 3.8x10-5 내부식성, 독립적인 가스 형태
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포장 & 선적 :
안전 수송을 보증하기 위해 내부에 충전된 폴리폼과 나무상자.
소포는 고객의 요청에 따라 급행, 기타 등등에 의해 공중에 의해 해로로 보내질 수 있습니다.
담당자: Mr. John Fang
전화 번호: 86-13837786702